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이 부회장은 네덜란드로 날아가 ASML 관계자를 만나고 올 것으로 전망된다. ASML은 첨단 반도체 생산에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산하는 곳이다. 전 세계적으로 반도체 수요가 폭발하면서 EUV 장비 품귀현상이 벌어지면서, 삼성전자·SK하이닉스 등은 해당 장비 수급에 비상이 걸린 상태다.
이 부회장은 직접 ASML 경영진을 만나 장비 공급 협의를 진행할 것으로 보인다. 앞서 이 부회장은 2020년 10월에도 EUV 장비 확보를 위해 직접 ASML 본사를 찾았다.
2일 업계에 따르면 이재용 삼성전자 부회장은 오는 7일부터 18일까지 네덜란드 출장에 나선다. 이를 위해 삼성 측 변호인은 이날 서울중앙지법에서 열린 삼성물산-제일모직 부당합병 혐의 공판에서 이 부회장의 다음 공판 불출석을 요청했고, 재판부는 이를 허락했다.
앞서 이재용 부회장은 지난 2020년 10월에도 장비 확보를 위해 ASML 본사를 직접 찾았다. 이 부회장은 당시 페터르 베닝크 ASML 최고경영자(CEO), 마르틴 판덴브링크 최고기술책임자(CTO) 등을 만나 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력 방안을 논의했다.
EUV 장비는 초미세 반도체 회로를 만들기 위해 필수적인 설비로, 사실상 ASML만 생산 기술을 갖춰 독점 판매하고 있다. 이 때문에 ASML은 ‘수퍼을’이라고도 불린다.
1대당 2000억원에 달하는 EUV 장비의 생산 가능 수량은 1년에 40여대 뿐이어서 반도체 기업들의 확보전이 치열하다. 삼성전자, SK하이닉스 같은 국내 기업뿐 아니라 TSMC, 인텔 등도 장비 확보에 공을 들인다. TSMC의 경우 지난 2020년 ASML 1년 생산 장비 전량을 자사에 줄 것으로 요구한 것으로 알려졌다. 삼성전자는 지난 한해 10대 가량의 노광장비를 ASML로부터 받은 것으로 전해진다.
최근 업계에서는 EUV 장비 수급이 어려워 하반기 반도체 생산 차질 가능성이 있다는 이야기도 나온다.
한편 삼성전자는 ASML 장비의 원활한 수급을 위해 지난 2012년 5억300만 유로(약 6770억원)를 투자해 ASML 지분 3%를 확보했다. 이후 2018년 보유 지분의 절반을 팔아 현재 지분 1.5%를 확보하고 있다.
